Инновационные решения в метрологиии системах неразрушающего контроля
Микроскопы EM8000F Std FEG являются последним, наиболее совершенным поколением сканирующих электронных микроскопов фирмы KYKY.
СЭМ модели EM8000F отличает высокая яркость и монохроматичность (стабильность энергии) электронного пучка, малый размер фокусного пятна, сверхвысокое разрешение изображения, а также высокая надежность и срок службы.
Основные особенности:
- Тип электронной пушки: Электронная пушка скатодом Шоттки
- Стабильный ток электронного пучка
- Низкая диссипация энергии
- Простой и удобный интерфейс
- Высокая надежность и долговечность
- Доступен с опцией сверхнизкого вакуума
- Обновленное ПО по сравнению с микроскопами серии 6000
СЭМ типа EM8000F Std FEG поставляется в следующих основных модификациях:
- Стандартный СЭМ;
- С механически нагружающим устройством или наноманипулятором;
- СЭМ с окном для ввода лазерного излучения;
- Модуль энергодисперсионной спектроскопии (EDS), позволяющий осуществлять химический анализ образца;
- Модуль электронно-дифракционного анализа (EBSD), позволяющий осуществлять кристаллографический анализ образца;
- Установка для электронно-лучевой литографии (EBL) на базе СЭМ;
- Установка для атомно-силовой или туннельной микроскопии (AFM/STM).
Программное обеспечение:
Программное обеспечение микроскопов серии EM8000F поддерживает одновременную работу с пятью окнами изображений вторичных или рассеянных электронов. Автоматизированные функции в ПО включают: фокусировку, настройку яркости и контраста, компенсацию астигматизма, центрирование электронного пучка, управление высоким напряжением катода, автокоррекцияпучка, оценка качества, 3D– сканирование в объеме.
Разрешение изображения: до 16384 х 16384
Энергетический спектрометр
Являясь важным инструментом для анализа состава микрорегионов в электронной микроскопии, энергетический спектрометр всегда был наиболее часто используемым аксессуаром для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии. Его можно использовать при анализе неорганических или органических твердых материалов, таких как полимер, керамика, бетон, биологические, минеральные, волокнистые материалы и т.д. Энергетический спектрометр может в том числе анализировать поверхностные покрытия твердых материалов.
Энергетическая дисперсионная спектроскопия (EDS)
Энергетическая дисперсионная спектроскопия (EDS) позволяет проводить элементный анализ и химический состав материала образца, от простой качественной оценки до комплексного количественного анализа.
Окно из нитрида кремния делает возможным детектирование элементов, начиная с бериллия.
Детектор дифракции электронов
Детектор дифракции электронов предоставляет данные кристаллографической ориентации, необходимые для понимания свойств микроструктуры вещества, в том числе расположения кристаллографических плоскостей. Он применим во многих областях исследования и разработки, контроля качества и анализа повреждений.
Системы с микро – нано – манипулятором
Для анализа изделий из металлов, макромолекулярных материалов, керами-ческих изделий и т.д., возможно приложение к образцу растягивающего усилия, а также нагрев и охлаждение образца.
Максимальное значение растягивающего усилия: 5000 Н
Температурный диапазон нагрева и охлаждения: -150 — +600 °С
Для работы с образцами, требующими микробработки, возможна поставка системы с микро – нано – манипулятором. Манипулятор позволяет перемещение, ориентацию и сборку объектов с беспрецедентной точностью:
- С разрешением от 0.5 нм
- С усилиями 0.5 нН – 0.2 мН
Электронно-пучковая литография
Электронно-пучковая литография – опция конструкции сканирующего электронного микроскопа, позволяющая осуществлять производственные процессы микроэлектроники, с непревзойденным разрешением и качеством, при существенно меньшей стоимости оборудования, сравнительно с литографической машиной. При этом модификация полностью сохраняет функционал СЭМ. Возможна поставка дополнительных устройств, в частности, генератора паттернов DY-2000A.
Установки подготовки поверхностей SBC-2, SBC-12, SBC-16
В комплекте с СЭМ могут поставляться установки подготовки поверхностей SBC-2, SBC-12, SBC-16, предназначенные для подготовки поверхностей образцов методами ионной чистки, ионного напыления и т. д., в атмосферной, аргоновой или вакуумной среде. Для оптимального подбора вспомогательных устройств, просим Вас обращаться к поставщикам оборудования.