Инновационные решения в метрологиии системах неразрушающего контроля
Микроскопы EM6900 Std SEM являются надежным и проверенным инструментом из линейки сканирующих электронных микроскопов фирмы KYKY.
СЭМ модели EM 6900 отличает возможность одновременной установки детекторов вторичных и рассеянных электронов (SE+BSE) с высоким разрешением и большой рабочей областью, низкая стоимость обслуживания, простой и удобный интерфейс, большое количество совместимых опций, например возможность установки катода из гексаборида лантана LaB6 с окном для лазерного излучения илипоставка на базе микроскопа установки для электронной лучевой сварки, с сохранением функционала микроскопии рассеянных электронов.
СЭМ типа EM6900 Std SEM поставляется в следующих основных модификациях:
- Стандартный СЭМ;
- С механически нагружающим устройством или наноманипулятором
- С катодом из гексаборида лантана LaB6 и окном для ввода лазерного излучения.
- Модуль энергодисперсионной спектроскопии (EDS), позволяющийосуществлять химический анализ образца;
- Модуль электронно-дифракционного анализа (EBSD), позволяющийосуществлять кристаллографический анализ образца;
- Электронно-лучевая сварка с визуализацией и контролем процесса на базе СЭМ;
- Установка для электронно-лучевой литографии (EBL) на базе СЭМ;
- Установка для атомно-силовой или туннельной микроскопии (AFM/STM).
Программное обеспечение
Программное обеспечение микроскопов серии EM6900 поддерживает одновременную работу с двумя окнами изображений вторичных или рассеянных электронов. Автоматизированные функции в ПО включают: фокусировку, настройку яркости и контраста, компенсацию астигматизма, центрирование электронного пучка, управление высоким напряжением катода, автокоррекция пучка, оценка качества, 3D–сканирование в объеме.
Разрешение изображения: до 4096 х 4096
Энергетический спектрометр
Являясь важным инструментом для анализа состава микрорегионов в электронной микроскопии, энергетический спектрометр всегда был наиболее часто используемым аксессуаром для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии. Его можно использовать при анализе неорганических или органических твердых материалов, таких как полимер, керамика, бетон, биологические, минеральные, волокнистые материалы и т.д. Энергетический спектрометр может в том числе анализировать поверхностные покрытия твердых материалов.
Энергетическая дисперсионная спектроскопия (EDS)
Энергетическая дисперсионная спектроскопия (EDS) позволяет проводить элементный анализ и химический состав материала образца, от простой качественной оценки до комплексного количественного анализа.
Окно из нитрида кремния делает возможным детектирование элементов, начиная с бериллия.
Детектор дифракции электронов
Детектор дифракции электронов предоставляет данные кристаллографической ориентации, необходимые для понимания свойств микроструктуры вещества, в том числе расположения кристаллографических плоскостей. Он применим во многих областях исследования и разработки, контроля качества и анализа повреждений.
Системы с микро – нано – манипулятором
Для анализа изделий из металлов, макромолекулярных материалов, керами-ческих изделий и т.д., возможно приложение к образцу растягивающего усилия, а также нагрев и охлаждение образца.
Максимальное значение растягивающего усилия: 5000 Н
Температурный диапазон нагрева и охлаждения: -150 — +600 °С
Для работы с образцами, требующими микробработки, возможна поставка системы с микро – нано – манипулятором. Манипулятор позволяет перемещение, ориентацию и сборку объектов с беспрецедентной точностью:
- С разрешением от 0.5 нм
- С усилиями 0.5 нН – 0.2 мН
Электронно-пучковая литография
Электронно-пучковая литография – опция конструкции сканирующего электронного микроскопа, позволяющая осуществлять производственные процессы микроэлектроники, с непревзойденным разрешением и качеством, при существенно меньшей стоимости оборудования, сравнительно с литографической машиной. При этом модификация полностью сохраняет функционал СЭМ. Возможна поставка дополнительных устройств, в частности, генератора паттернов DY-2000A.
Установки подготовки поверхностей SBC-2, SBC-12, SBC-16
В комплекте с СЭМ могут поставляться установки подготовки поверхностей SBC-2, SBC-12, SBC-16, предназначенные для подготовки поверхностей образцов методами ионной чистки, ионного напыления и т. д., в атмосферной, аргоновой или вакуумной среде. Для оптимального подбора вспомогательных устройств, просим Вас обращаться к поставщикам оборудования.