Микроскопы EM6200 Eco SEM являются надежным, проверенным и при этом наиболее бюджетным инструментом из линейки сканирующих электронных микроскопов фирмы KYKY. СЭМ модели EM6200 отличает большое количество совместимых опций, низкая стоимость обслуживания, возможность установки катода из гексаборида лантана LaB6, полный набор функций автоматизации в ПО, полностью переведенный на английский язык интерфейс, возможность поставки опций для ранее поставленных микроскопов.
Основные технические характеристики СЭМ типа EM6200 Eco SEM:
№ |
Параметр |
Значение (EM6200 Eco SEM) |
|
1 |
Разрешение |
4.5 нм (вторичные электроны (SE)) @ 30 кВ 6 нм (рассеянные электроны (BSE)) @ 30 кВ |
|
2 |
Увеличение |
x15 – x250 000 |
|
3 |
Тип электронной пушки |
вольфрамовый катод — центрированный картридж |
|
4 |
Ускоряющее напряжение |
0 – 30 кВ |
|
5 |
Тип фокусирующей системы |
Трёхуровневая электромагнитная фокусирующая линза |
|
6 |
Тип апертуры |
Настраиваемая молибденовая апертура |
|
7 |
Тип детектора |
Высоковакуумный детектор вторичных электронов |
|
8 |
Вакуумная система (опции) |
Турбомолекулярный насос, ротационный насос |
|
9 |
Предметный стол (опция) |
С пятиосевым моторизованным контролем |
|
10 |
Диапазон перемещения образца |
X |
0 – 50 мм |
11 |
Y |
0 – 50 мм |
|
12 |
Z |
0 – 25 мм |
|
13 |
R (вращение) |
360 ° |
|
14 |
T (наклон) |
— 5 °– 90 ° |
|
15 |
Макс. диаметр образца |
150 мм |
СЭМ типа EM6200 Eco SEM поставляется в следующих основных модификациях:
Возможные аксессуары также включают:
Программное обеспечение
Программное обеспечение микроскопов серии EM6200 Eco поддерживает одновременную работу с двумя окнами изображений вторичных или рассеянных электронов. Автоматизированные функции в ПО включают: фокусировку, настройку яркости и контраста, компенсацию астигматизма, центрирование электронного пучка, управление высоким напряжением катода, автокоррекция пучка, оценка качества, 3D – сканирование в объеме.
Разрешение изображения: до 4096 х 4096.
Опции обработки изображения в программном обеспечении постобработки:
Описание основных аксессуаров (детекторы)
Являясь важным инструментом для анализа состава микрорегионов в электронной микроскопии, энергетический спектрометр всегда был наиболее часто используемым аксессуаром для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии. Его можно использовать при анализе неорганических или органических твердых материалов, таких как полимер, керамика, бетон, биологические, минеральные, волокнистые материалы и т.д. Энергетический спектрометр может в том числе анализировать поверхностные покрытия твердых материалов.
Описание основных аксессуаров
Для анализа изделий из металлов, макромолекулярных материалов, керами-ческих изделий и т.д., возможно приложение к образцу растягивающего усилия, а также нагрев и охлаждение образца.
Максимальное значение растягивающего усилия: 5000 Н
Температурный диапазон нагрева и охлаждения: -150 — +600 °С
Для работы с образцами, требующими микробработки, возможна поставка системы с микро – нано – манипулятором. Манипулятор позволяет перемещение, ориентацию и сборку объектов с беспрецедентной точностью:
Электронно-пучковая литография – опция конструкции сканирующего электронного микроскопа, позволяющая осуществлять производственные процессы микроэлектроники, с непревзойденным разрешением и качеством, при существенно меньшей стоимости оборудования, сравнительно с литографической машиной. При этом модификация полностью сохраняет функционал СЭМ. Возможна поставка дополнительных устройств, в частности, генератора паттернов DY-2000A.
В комплекте с СЭМ могут поставляться установки подготовки поверхностей SBC-2, SBC-12, SBC-16, предназначенные для подготовки поверхностей образцов методами ионной чистки, ионного напыления и т. д., в атмосферной, аргоновой или вакуумной среде. Для оптимального подбора вспомогательных устройств, просим Вас обращаться к поставщикам оборудования.