Микроскопы EM6200 Eco SEM являются надежным, проверенным и при этом наиболее бюджетным инструментом из линейки сканирующих электронных микроскопов фирмы KYKY. СЭМ модели EM6200 отличает большое количество совместимых опций, низкая стоимость обслуживания, возможность установки катода из гексаборида лантана LaB6, полный набор функций автоматизации в ПО, полностью переведенный на английский язык интерфейс, возможность поставки опций для ранее поставленных микроскопов.

• Тип электронной пушки: вольфрамовый катод — центрированный картридж
• Простой и удобный интерфейс, переведенный на английский язык
• Наиболее поставляемая и бюджетная модель

Основные технические характеристики СЭМ типа EM6200 Eco SEM:

СЭМ типа EM6200 Eco SEM поставляется в следующих основных модификациях:

• Стандартный СЭМ;
• Атомно-силовой микроскоп (AFM);
• С микро – нано – манипулятором;
• С окном для ввода лазерного излучения;
• В комплектации оперативного контроля поверхностей материалов (при поставке микроскопа с установкой обработки поверхностей);
• Кастомные модификации по требованию Заказчика;

Возможные аксессуары также включают:

• ПЗС – детекторы в различной конфигурации;
• Катод из гексаборида лантана LaB6;
• Рентгеновский детектор для исследования вторичного рентгеновского излучения;
• Нагревательные элементы для нагрева образцов (до + 600 °С);
• Охлаждение образцов до -150 °С;
• Нагрузочный блок для растяжения образцов (усилие до 5000 Н);
• Детекторы диффракции электронного пучка (EBSD);
• Криогенное охлаждение образца;
• Установка для обработки поверхностей;
• Пятиосевой моторизованный предметный стол;
• Аксессуары по требованию заказчика;

Программное обеспечение микроскопов серии EM6200 Eco поддерживает одновременную работу с двумя окнами изображений вторичных или рассеянных электронов. Автоматизированные функции в ПО включают: фокусировку, настройку яркости и контраста, компенсацию астигматизма, центрирование электронного пучка, управление высоким напряжением катода, автокоррекция пучка, оценка качества, 3D – сканирование в объеме.

Разрешение изображения: до 4096 х 4096.

Опции обработки изображения в программном обеспечении постобработки:

• Интерфейс оператора
• Анализ размеров зерен
• Цветовая окраска фракций
• Трансформация в псевдоцвет
• Анализ интенсивности
• Расчет площадей, определение
  по поверхности и вычитание краев

Являясь важным инструментом для анализа состава микрорегионов в электронной микроскопии, энергетический спектрометр всегда был наиболее часто используемым аксессуаром для сканирующей и просвечивающей электронной микроскопии. Его можно использовать при анализе неорганических или органических твердых материалов, таких как полимер, керамика, бетон, биологические, минеральные, волокнистые материалы и т.д. Энергетический спектрометр может в том числе анализировать поверхностные покрытия твердых материалов.

Энергетическая дисперсионная спектроскопия (EDS) позволяет проводить элементный анализ и химический состав материала образца, от простой качественной оценки до комплексного количественного анализа.

Окно из нитрида кремния делает возможным детектирование элементов, начиная с бериллия.

Детектор дифракции электронов предоставляет данные кристаллографической ориентации, необходимые для понимания свойств микроструктуры вещества, в том числе расположения кристаллографических плоскостей. Он применим во многих областях исследования и разработки, контроля качества и анализа повреждений.

Для анализа изделий из металлов, макромолекулярных материалов, керами-ческих изделий и т.д., возможно приложение к образцу растягивающего усилия, а также нагрев и охлаждение образца.

Максимальное значение растягивающего усилия: 5000 Н

Температурный диапазон нагрева и охлаждения: -150 — +600 °С

Для работы с образцами, требующими микробработки, возможна поставка системы с микро – нано – манипулятором. Манипулятор позволяет перемещение, ориентацию и сборку объектов с беспрецедентной точностью: 

• С разрешением от 0.5 нм
• С усилиями 0.5 нН – 0.2 мН

Электронно-пучковая литография – опция конструкции сканирующего электронного микроскопа, позволяющая осуществлять производственные процессы микроэлектроники, с непревзойденным разрешением и качеством, при существенно меньшей стоимости оборудования, сравнительно с литографической машиной. При этом модификация полностью сохраняет функционал СЭМ. Возможна поставка дополнительных устройств, в частности, генератора паттернов DY-2000A.

В комплекте с СЭМ могут поставляться установки подготовки поверхностей SBC-2, SBC-12, SBC-16, предназначенные для подготовки поверхностей образцов методами ионной чистки, ионного напыления и т. д., в атмосферной, аргоновой или вакуумной среде. Для оптимального подбора вспомогательных устройств, просим Вас обращаться к поставщикам оборудования.